Ion implantation equipment and techniques - proceedings of the third International conference on ion implantation equipment and techniques, Queen's university, Kingston, Ontario, 8-11 July 1980
- Författare
- Charles M. McKenna International conference on ion implantation equipment and techniques 1980) Kingston :
- (Eds: Charles M. McKenna ..)
- Genre
- Konferenser, Ej skönlitteratur, Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1981 | Nederländerna, Amsterdam | 339 sidor. diagr., ill., tab. |